ผงอลูมินาหลอมสีขาวสำหรับพ่นทรายชิ้นส่วนสแตนเลสของอุปกรณ์ผลิตชิปเซมิคอนดักเตอร์

ผงอลูมินาหลอมสีขาวสำหรับพ่นทรายชิ้นส่วนสแตนเลสของอุปกรณ์ผลิตชิปเซมิคอนดักเตอร์

ไวท์ฟิวส์อลูมินา (ย่อว่า WFA) หรือที่รู้จักกันในชื่ออิเล็กโทรฟิวส์อลูมินา และเรียกกันทั่วไปในอุตสาหกรรมว่า เอเมอรี มีเฟสผลึกหลักคือ α‑Al₂O₃ โดยมีความแข็งตามมาตราโมห์สที่ 9 เป็นสารขัดผิวชนิดพิเศษสำหรับพ่นทำความสะอาดชิ้นส่วนสแตนเลส 304/316L ในอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์

ชิ้นงานที่ใช้งานได้: ชิ้นส่วนสแตนเลสที่มีความแม่นยำสูง เช่น ห้องสุญญากาศสำหรับเซมิคอนดักเตอร์ หน้าแปลนสุญญากาศสูงพิเศษ CF วงแหวนรองรับเวเฟอร์ แกนวาล์วปิดผนึก แท่นทดสอบ และชุดประกอบท่อส่งก๊าซ หน้าที่ของกระบวนการพ่นทราย: กำจัดเสี้ยน รอยเชื่อม และคราบออกไซด์ที่เกิดจากการกลึง CNC สร้างลวดลายยึดเกาะแบบด้านที่สม่ำเสมอและควบคุมได้ ใช้เป็นการเตรียมพื้นผิวก่อนการเจียร การขัดเงา และการเคลือบในขั้นตอนต่อไป

2. ตัวบ่งชี้ทางกายภาพและเคมีหลักของอลูมินาหลอมสีขาวบริสุทธิ์สูงโซเดียมต่ำสำหรับการพ่นทรายชิ้นส่วนสแตนเลสของอุปกรณ์ผลิตชิปเซมิคอนดักเตอร์

• Al₂O₃ ≥ 99.5%
• Fe₂O₃ ≤ 0.05%
• Na₂O ≤ 0.25% (เกรดโซเดียมต่ำเพื่อลดการปนเปื้อนที่เกิดจากการตกตะกอนของโลหะอัลคาไล)
• SiO₂ ≤ 0.15%

ลักษณะเม็ดหิน: เม็ดหินมีรูปร่างสมมาตรและมีขอบคม มีประสิทธิภาพในการลับคมตัวเองได้ดี โดยจะเกิดขอบคมใหม่ขึ้นอย่างต่อเนื่องเมื่อเม็ดหินแตกหักระหว่างการระเบิด

3. ขนาดเม็ดทรายสำหรับพ่นอลูมินาหลอมขาวเพื่อพ่นทรายชิ้นส่วนสแตนเลสของอุปกรณ์ผลิตชิปเซมิคอนดักเตอร์

• การพ่นทรายหยาบ (เพื่อกำจัดรอยเชื่อมที่หนาและคราบออกไซด์หนา): F60, F80 / 60#, 80#
• การพ่นทรายผิวด้านแบบละเอียด (เป็นวิธีการหลักสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ให้พื้นผิวด้านที่ละเอียดและสม่ำเสมอ): F100, F120, F180, F240 / 100#, 120#, 180#, 240#

ขนาดอนุภาคที่ละเอียดกว่าจะให้ค่า Ra บนพื้นผิวที่ต่ำกว่าและพื้นผิวที่ละเอียดกว่า เหมาะสำหรับชิ้นส่วนสุญญากาศที่ต้องการความสะอาดสูง

4. ข้อดีหลักของอลูมินาหลอมสีขาวสำหรับการพ่นทรายชิ้นส่วนสแตนเลสของอุปกรณ์ผลิตชิปเซมิคอนดักเตอร์

1. ประสิทธิภาพการลดการปนเปื้อน : ปริมาณเหล็กต่ำมากช่วยขจัดปัญหาการแทรกซึมของเหล็กและการเปลี่ยนสีของพื้นผิวหลังการพ่นทราย และป้องกันมลภาวะจากโลหะหนักในสภาพแวดล้อมการผลิตชิปเซมิคอนดักเตอร์ วัสดุนี้มีความเฉื่อยทางเคมีที่ดีเยี่ยม ทนต่อกรดและด่าง และการทำความสะอาดด้วยคลื่นอัลตราโซนิคในภายหลังสามารถขจัดอนุภาคขัดถูที่ตกค้างได้อย่างง่ายดาย

   พื้นผิวที่ควบคุมได้ : เกรนเหลี่ยมคมสร้างลวดลายยึดเกาะแบบด้านที่สม่ำเสมอและมั่นคง ผู้ใช้สามารถเลือกขนาดเกรนที่เหมาะสมตามค่า Ra ที่ต้องการ และหลีกเลี่ยงการสึกกร่อนมากเกินไปของชิ้นส่วนสแตนเลสที่มีผนังบางและแม่นยำ

   ความทนทานต่อการสึกหรอและการนำกลับมาใช้ใหม่ : ความแข็งสูงและความเหนียวที่สมดุลช่วยลดการสิ้นเปลืองวัสดุขัดถู เม็ดทรายสามารถปรับใช้ได้กับเครื่องพ่นทรายทั้งแบบแห้งและแบบเปียก รองรับการนำกลับมาใช้ใหม่และรอบการพ่นทรายซ้ำ และช่วยลดต้นทุนการผลิตโดยรวมได้อย่างมีประสิทธิภาพ